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pg电子模拟器网址:杭州富芯半导体获得低温泵与半导体设备专利完成低温泵在作业过程中的自我再生

来源:pg电子模拟器网址    发布时间:2025-08-27 03:26:57

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  金融界2025年8月9日音讯,国家知识产权局信息数据显现,杭州富芯半导体有限公司获得一项名为“低温泵与半导体设备”的专利,授权公告号CN223203190U,请求日期为2024年11月。

  专利摘要显现,本实用新型供给了一种低温泵与半导体设备,该低温泵包含泵体、阻隔阀体以及设于泵体内的多组低温单元;多组低温单元沿泵体的内周周向设置,多组低温单元能够互相独登时与制程腔相连通,以吸附制程腔内的气体;阻隔阀体设置于泵体的顶部,且阻隔阀体能够沿泵体的内周周向滚动,以将对应的低温单元与制程腔相阻隔,然后使得与制程腔相阻隔的低温单元能够有用的进行再生。

  天眼查资料显现,杭州富芯半导体有限公司,成立于2019年,坐落杭州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。经过天眼查大数据分析,杭州富芯半导体有限公司参加招投标项目27次,产业线条,此外企业还具有行政许可17个。

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